Treatment of carbon tetrafluoride with gas discharges

Pietsch, Gerhard J.; Saveliev, Anatolij B.

Weinheim / Wiley VCH (2007) [Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel]

Plasma processes and polymers
Band: 4
Ausgabe: 7/8
Seite(n): 737-742

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